Microlithography and metrology in micromachining II - 14-15 October 1996, Austin, Texas
- Författare
- (Michael T. Postek, Craig Friedrich, chairs/editors)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1996 | USA | 296 sidor. | 0-8194-2278-9 |